MASK AOI
發(fā)布時間:2025-02-21 18:48 作者:admin 次數(shù):次
詳細介紹
適用基于8.6G代線MASK AOI;精度5.0 [um];節(jié)拍180.0 [sec] Mask檢測單元、查看/回看單元3D激光測量單元、激光修復(fù)單元
關(guān) 鍵 特 征
MASK檢測
-OMM和FMM類型都可以進行檢查
-包括自動缺陷激光修復(fù)(ADR)功能
-包括手動缺陷激光修復(fù)和缺陷重新判斷功能
-包括3D高度測量和3D輪廓功能 (包括通用AOI規(guī)范)